이 백서에서는 클린 룸 차압 제어의 요구 사항과 클린 룸 차압 제어 방법에 대해 설명합니다.

a) 클린 룸 내 압력 차 설정

클린 룸의 테스트 및 검사는 설계 단위에 따른 구성 단위의 설계 및 구성 도면입니다. 모든 환기 및 냉방 설계가 설치되고 제자리에 배치되면 하위 프로젝트는 일부 프로젝트 (주로 풍량 디버깅 및 차압 디버깅, 청정도 테스트, 클린 룸의 온도 및 습도 측정)에 대해 별도로 테스트 및 측정됩니다.
(1) 풍량 커미셔닝 : 설계 및 시공 도면 설계에 따라 송 배관 및 송 배관이 설계됩니다. 설계 풍량의 크기가 결정되고, 각 파이프 라인 복귀 공기 밸브의 개방 상태가 결정되며, 각 가지의 풍량이 테스트된다. 이 기사는 여기서 다루지 않습니다.
(2) 청정도 시험 : 공기 상태 시험, 정적 상태 시험, 동적 상태 시험으로 구분되며 청정실의 먼지 함량은 별도로 시험한다.
빈 상태에서의 테스트는 시스템 (클린 룸)이 정상 작동 중이지만 공정 장비 및 생산 인력이 테스트되지 않았 음을 의미합니다.
정적 상태에서의 테스트는 시스템 (클린 룸)이 정상적으로 작동하고 프로세스 장비가 설치되었지만 작동하지 않고 테스트를 수행했음을 의미합니다.
동적 상태에서의 테스트는 시스템 (클린 룸)이 정상 작동 중이며 프로세스 장비 및 생산 담당자가 작업하고 있음을 의미합니다.
위의 시험 결과에 따르면, 건설 장치는 다른 생산 환경 조건에서 먼지 함량 농도를 테스트하여 건설 설계자와 건설 장치가 요구하는 청결 수준을 달성하고 먼지 농도가 항상 이보다 낮도록해야합니다 사용을 위해 건설 단위에 가치와 자격을 갖춘 납품.
(3) 차등 디버깅 : 클린 룸으로의 외부 오염을 방지하고 룸 청결도를 높이려면 실내 청정도를 다른 클린 룸의 클린 룸 요구 사항에있는 외부 압력보다 높게 유지하도록 요청해야합니다. 클린 룸의 공기 변화 횟수를 보장하기 위해 차압 디버깅 프로세스에서 인접한 실내 오염 또는 인접한 실내 오염의 압력 차에서 클린 룸을 효과적으로 피할 수있는 특정 압력 구배 장비 배기 공기 및 먼지 제거의 효과는 장비 배기 팬 및 먼지 제거 팬의 공기 공급량 및 공기량을 변경하지 마십시오. 압력 차이는 주로 리턴 공기량 및 시스템 배기 공기량을 조정하여 조정됩니다. 클린 룸 설계 사양에 따르면 클린 룸 내부의 압력이 외부 압력보다 높다고 명시되어 있습니다. 양압 클린 룸과 음압 클린 룸이라고합니다. 양성 대 음압으로, 한 방은 대기에 대한 양압 실이지만 다른 방은 음압 실 일 수 있습니다. 또한 클린 룸과의 압력 차가 규정되어 있습니다 청소 구역과 청소 구역은 5pa 이상이어야하며 청소 구역과 실외 구역 사이의 압력 차는 10pa 이상이어야합니다.
정화 시스템의 작동. 디버깅을 통해 시스템 작동에서 발생하는 문제를 이해할 수 있으므로 설계 체계를 개선하고 시공 작업을 표준화하며 위의 문제를 피할 수 있습니다. 시운전 작업은 클린 룸의 압력 차와 청결이 표준에 도달하도록하는 중요하고 필요한 단계입니다. 시스템의 정상적인 작동은 정상적인 생산입니다.

청정실에서의 차압 제어 방법의 선택과 논의

현재 청정실에서 일반적으로 사용되는 차압 제어 방법에는 기본적으로 두 가지 유형이 있습니다. 하나는 정적 제어, 일정한 공기량 제어, 다른 하나는 동적 제어라고합니다.

2.1 풍량 조절 원리

공기 청정, 환기 및 배기 공기량의 시스템을 통해 합리적인 수준의 설계 및 규제 시스템을 통해 서로 다른 청정 수준 및 실내 및 실외 압력 차 요구 사항을 충족시키는 공조 시스템.

흡입 실 공기량과 배기 공기량 + 클린 룸의 차압 공기량 (잔여 공기량) 사이의 균형에 도달하면 압력 차이가 설정됩니다. 여기서, 배출 공기량은 외부로 배출 될 배기 공기량 및 복귀 공기량을 포함한다.

DC 시스템의 경우, 신선한 공기 = 배기 공기 + pdc

순환 시스템의 경우, 신선한 공기 + 리턴 공기 = 리턴 공기 + 배기 공기 + 차압 공기

최종 분석에서 압력 차의 본질은 다음과 같습니다 : 새로운 공기량 = 배기 공기량 + 압력 차 공기량

따라서 클린 룸에서 pdc 설정 조정은 신선한 공기량과 배기 공기량 + pdc 사이의 균형을 반영해야합니다.

(1) 일정량의 공기를 dc 시스템으로 공급하고 차압 설정에 따라 배출 공기량을 조정한다.

(2) 순환 시스템의 경우 일정량의 공기가 공급됩니다. 일반적으로, 배기 공기량은 필요에 따라 조절 될 수 있고, 그 후 복귀 공기량은 압력 차이를 설정하도록 조절 될 수있다.

(3) 일부 청정실에 별도의 배기 공기량이없는 경우, 리턴 공기량을 조정하여 압력 차이를 설정하십시오. 청정실의 흡입 공기량은 확실해야하므로 제어 변수로 사용할 수 없습니다. 합리적인 설계 및 디버깅을 통해 압력 차이를 달성 할 수 있습니다.

2.2 제어 모드

일정한 풍량 제어를위한 두 가지 시스템이 있습니다.

(1) 수동 제어

차압을 수동으로 조정 한 후, 공급 장치를 잠그고, 공기 공급 밸브와 배기 공기 공급 밸브를 잠그고 시스템 저항이 변할 때 다시 조정하십시오. 시스템은 간단하고 작동 및 유지 보수가 용이합니다.

huac 시스템의 피드 및 리턴 팬 (싱글 또는 더블 팬)에는 자동 풍량 조절 장치가 장착되어 있지 않습니다. 물론 자동 풍량 조절이 설정된 경우 (예 : 공기 공급 주관의 정압이 제어되어야 함) 공급 및 복귀 팬의 단일 팬 또는 배출구 제어 밸브), 클린 룸의 압력 차가 더 안정적 일 수 있지만 자동 공기량 조절은 일반적으로 설정되지 않습니다.

(2) 일정한 풍량 밸브 제어

기본은 각 설정 공기량 밸브의 클린 룸 송신 에어 튜브, 리턴 에어 튜브 및 배기 에어 튜브에 있으며, 또한 송신 에어 튜브, 설정시 배기 에어 튜브에만 있어야하며 리턴 에어 튜브는 전자와 함께 설정되지 않아야합니다. 물론 더 나 았지만 투자는 약간 더 큽니다.

스프링과 같은 일정한 풍량 밸브 및 기계로 구성된 밸브 몸체는 스프링 구동 몸체 변위 보상에 의해 덕트 내부의 정압 변화가 가능하며, 풍량을 유지하고, huac 시스템의 저항 변화를 자동으로 유지하여 풍량으로 유지해야합니다. (일정한 풍량 밸브는 저항의 역할, 일부는 105 ~ 750 pa, 일부는 20 ~ 1000 pa), 풍량 제어가 정확하므로 팬에 대한 자동 풍량 조정 조치를 설정할 필요가 없습니다. 격리 병실, 수술실 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

2.3 일정한 공기량의 제어 모드에 대한 에너지 절약 조치

(1) 에너지 절약 일정 풍량 밸브는 쌍 안정 할 수 있습니다. 즉, 정격 풍량 작동 작업의 클린 룸, 작동하지 않을 때, 낮은 풍량 작동을 사용하여 에너지 절약, 팬은 배속 또는 가변 주파수 가변 속도 팬. 쌍 안정 상태는 현재 수동으로 (업무상) 설정되거나 빛에 의해 제어 될 수 있으며, 수술실과 일부 실험실에서 종종 사용됩니다.

(2) 에너지를 절약하기 위해 일부 제약 공장은 실내 difference 후드 또는 장비의 부분 배기가 실내 압력 차를 유지하기 위해 리턴 공기와 부분 배기의 연결 핀 (개구 및 폐쇄)을 채택했습니다. 작동하지 않으면 배기 밸브가 닫히고 연동 리턴 공기 밸브가 열려 실내 압력 차를 유지하기 위해 동일한 공기량으로 인터록 전환을 수행해야합니다. 이때, 보내기, 리턴 팬은 이중 팬을 사용해야합니다. 팬 및 가변 속도, 배기 팬 또한 가변 속도에 적합하며, 팬의 속도를 제어하기 위해 해당 공기 덕트의 정압에 따를 수 있습니다.

2.4 문 열기 및 닫기에 일정한 풍량 제어 방법의 적응성

위에서 언급했듯이, 일정한 공기량의 제어 방법은 도어가 열리고 닫힐 때 역 기류를 피할 수 없습니다. 현재 일부 수술실은 역류없이 저압 차이를 유지하기 위해 도어 개방, 폐쇄 및 배기 팬의 인터록을 채택합니다 클린 룸 배기 공기량 자체 ≥ 공기 압력 차이를 유지하기 위해 도어가 열린 경우, 그 효과는 긍정적입니다. 그렇지 않으면, 도어가 조금 더 열린 경우 역류가 나타나지 않는 것이 어렵습니다.

또한 현재 많은 수술실은 일정한 풍량 밸브의 차압 제어 방법을 채택합니다.이 밸브는 주로 수술실의 수술대 위의 중앙 집중식 균일 한 공기 공급을 기반으로하여 오염 물질의 유입을 더 잘 방지 할 수 있습니다 주변 지역의 미생물 농도는 깨끗한 복도만큼 좋지 않습니다.

2.2 일정한 공기량 조절

2.2.1 특성 및 응용 요구 사항

그 특성은 다음과 같습니다. 클린 룸 도어 닫히고, 공기 공급 (신선한 공기 * 복귀 공기) + 복귀 공기 * 배기 공기 * 차압 공기량을 만들고 차압 값을 설정하십시오. 차압 공기량을 제외한 모든 공기량이 유지됩니다.

일정한 풍량 제어 방법은 프로세스 배기 풍량 변화와 압력 차이에 대한 간섭의 문 개폐를 해결할 수 없으며,이 경우 역류로 보입니다. 따라서 채택의 전제는 다음과 같습니다.

(1) 일정 시간 동안 일정량의 배기가 필요하거나 적어도 일정량의 공기가 필요하며 나중에 변경 될 때 조정해야합니다.

(2) 인클로저 구조 및 도어의 우수한 기밀성;

(3) 완 충실 또는 에어 록이 채택되어야하며 에어 록을 신속하게 복구하고 필요한 청결을 유지하기 위해 필요한 경우 공기 변화 횟수를 늘려야한다 (버퍼 룸이없는 인접 공간에 역류가 있더라도) 처리 또는 처리 오브젝트는 크게 영향을받지 않습니다.