(a) 에어컨 시스템 분할 원리의 정화

1, 청결, 온도, 습도 및 동일하거나 유사한 클린 룸의 정확성은 정화 에어컨 시스템으로 나누어야합니다. 청결과 온도 및 습도를 쉽게 제어 할 수 있습니다. 2. 서로 가까운 클린 룸은 시스템 파이프 라인의 길이와 파이프 라인의 교차를 줄일 수있는 시스템으로 분류되어야합니다.

3. 조건이 허용 될 때, 혼합 흐름 정화 공조 시스템은 4, 5 단방향 흐름 및 6, 7 및 8 비단 방향 흐름으로 구성 될 수있다.

4, 클린 룸은 시스템으로 일반 에어컨 룸과 결합해서는 안됩니다.

5, 법을 사용하고 사용 시간이 클린 룸이 정화 에어컨 시스템에 적합하지 않은 것과 동일하지 않습니다.

6, 먼지 생산, 열, 유해 물질, 소음 실은 별도의 시스템으로 설계해야합니다.

7. 독성이 높고 혼합 후 화재 및 폭발을 일으키는 방을 하나의 정화 에어컨 시스템으로 결합해서는 안됩니다.

8, 매우 독성과 가연성 및 폭발성이 있습니다 a, b 방은 별도의 시스템이어야하며 공기 dc 시스템을 반환해서는 안됩니다.

도 9에 도시 된 바와 같이, 정화 에어컨 시스템은 너무 커서 쉽지 않다. 일반적으로 정화 공기 공급량은 100,000m를 초과해서는 안됩니다. 그렇지 않으면, 공기 처리 장비가 너무 크고, 시끄럽고, 리턴 공기 덕트가 크고, 넓은 공간과 공간을 차지하며, 사용이 유연하지 않습니다.

10, 깨끗한 에어컨 시스템 부문은 공기 덕트, 리턴 덕트, 배기 덕트 및 물, 전기, 가스 및 기타 파이프 라인 레이아웃을 고려하여 가능한 한 합리적이고 짧으며 사용하기 쉬운 관리를하고 교차로를 줄이고 중복.

11. 공조 시스템에서 신선한 공기의 열, 습도 및 정화 처리를 중앙 집중화하거나 분산시킬 수 있습니다.

공정 장비의 국소 배기 시스템을 분할하는 원리

1. 공정 장비의 부분 배기 시스템이 너무 크지 않아야하고, 각 배기 시스템의 배기 지점이 너무 많아서는 안되므로 배기 관리 및 조정이 편리하고 배기 효과가 양호해야합니다. .

2. 하나의 배기 시스템이 두 개 이상의 정화 에어컨 시스템을 통과해서는 안됩니다.

3. 혼합 후 고독성, 폭발성, 화재, 응축, 결정화 및 유해 물질을 생성하는 배기는 하나의 배기 시스템으로 결합되어서는 안됩니다.

4. 다른 방과 장비의 배기를 하나의 배기 시스템으로 결합해서는 안됩니다.

5. 청정실 정화 에어컨 시스템의 공기 공급 유형 비교 및 ​​선택

(a) 정화 및 공기 조절 공기 공급 결합 공기 공급 유형, 일반적으로 중앙 집중식 공기 공급 유형으로도 알려져 있습니다. 공조실에 설치된 공기 조화 장치 (공기 처리 장치 ahu) 정화 계획, 모든 공기 조화 공급 공기 정화의 정화는 공기 조화 장치 및 고온, 습식 처리에서 수행되었으며 대형 공급 공기 덕트는 모든 공기 공급 장치가됩니다. 클린 룸 콘돌 상단으로 리 패스는 터미널 hepa 필터의 클린 룸 천장 또는 실내 공기 공급 구를 여과하기위한 효율적인 필터의 클린 룸 천장에 위치하여 클린 룸 공정에 필요한 온도, 습도, 청결도 및 압력 차를 실현합니다. 방, 청정실의 리턴 공기는 리턴 공기 흡입구 및 리턴 공기 덕트를 통과 한 다음 에어컨 실의 정화 에어컨 장치에 연결됩니다. 신선한 공기와 혼합 한 후, 공기 정화 및 열 및 습도 처리가 반복된다. 이 체계는 완전 신선한 공기 공급 체계 (dc 시스템)로 나눌 수 있습니다. 하나의 에어 리턴 프로그램; 첫 번째와 두 번째 공기 반환 체계와 mau plus ffu 체계는 네 가지 다른 공기 공급 유형입니다. 이 공기 공급 방식은 클린 룸, 특히 일방 흐름이 아닌 클린 룸에 가장 널리 사용되는 공기 공급 방식입니다. 이 공기 공급 체계의 시스템 구분은 명확하며 공기량, 온도 및 습도 제어 및 규제는 단일입니다. 그러나 청결 수준이 높고 공기 공급량이 많으면 에어컨 실이 넓은 면적을 차지하고 공기 공급 및 회수 공기 파이프의 부피가 넓은 면적 및 공간을 차지하며 공기 공급 및 회수 공기 파이프는 공기 공급 팬의 잔류 압력이 높고 소음이 크고 공기 공급이 많은 양의 전기를 소비합니다. 따라서,이 공기 공급 방식은보다 낮은 수준의 비단 방향 흐름 청정실의 공기 공급에보다 적합하고, 5 방향 이상의 일방향 흐름 청정실의 공기 공급에는 덜 경제적이며 합리적이다.

1. 신선한 공기를 가진 ahu의 공기 공급 계획 (dc 시스템)

완전 신선한 공기 정화 공기 공급 체계는 환기가 허용되지 않는 클린 룸을위한 특수 공기 공급 체계에 사용됩니다. 예를 들어, 클린 룸 프로세스의 생산은 클래스 A 및 클래스 B 화재 위험 수준으로 분류되거나 프로세스가 클린 에어 서플라이 시스템에서 공기를 반환 할 수없는 독성 및 기타 유해 물질을 생성합니다.

2. ahu 기본 공기 반환의 공기 공급 방식

1 차 공기 복귀의 공기 공급 방식은 일반적으로 열량 값 또는 수분 수율이 큰 클린 룸에서 사용되며 실내 잔류 열 또는 수분의 공기 공급은 비 공기 정화 공기 공급보다 크거나 같거나 비슷합니다. 청결도가 낮은 일방 흐름 청정실.

3. ahu 1 차 및 2 차 공기 복귀를 이용한 정화 에어컨의 공기 공급 방식

청정실 정화 공기 공급 용량이 에너지를 절약하기 위해 열과 습도 처리 과정에서 공기 열과 열을 제거하여 클린 룸 정화 공기 공급 용량이 공기 조화의 공기 공급 용량보다 커서 잔류 열과 습도를 제거합니다. 시스템 공기 공급 지점의 첫 번째 및 두 번째 공기 반환 프로그램 인 두 번째 혼합 지점 디자인을 사용하는 것이 가장 좋습니다.이면은 가장 에너지 절약적이고 가장 경제적 인 공기 공급 프로그램입니다.

정화 에어컨을위한 4.mau + rau의 공기 공급 체계

여러 청정실 청정도, 온도, 습도, 다양한 요구 사항에 대한이 솔루션은 실내 열량 및 수분 함량의 수율도 유사하여 각 청정실 청정도, 온도, 습도 및 정밀 요구 사항을 설정합니다. 다중 사이클 장치, 장치의 원형 공기 출력은 공기 출력을 정화하고 장치 내에 필요한 열, 습식 처리 장비를 설정하여 신선한 공기 장치 열 부족, 습식 처리를 보완하고 깨끗한 상태를 유지하는 데 사용됩니다 실내 온도 및 습도 정밀 미세 조정 섹션. 순환 장치가 클린 룸의 천장에 위치하기 때문에 순환 장치의 공기 공급의 잔류 압력이 상대적으로 작고 장치의 부피와 장치의 소음 및 진동도 작으며 반환 공기 덕트는 비교적 짧습니다. 그러나 순환 장치의 응축수 배출에주의해야합니다. 이 구성표의 신선한 공기 장치는 에어컨 실에 있으며,이 클린 룸에 필요한 모든 신선한 공기는 신선한 공기 장치 (mau)와 중앙 집중식 열 및 습도 처리로 정화됩니다. 그런 다음 각 사이클 장치에 분배되어 리턴 공기와 혼합됩니다. 신선한 공기 장치의 신선한 공기량은 각 클린 룸의 배기를 보충 할뿐만 아니라 각 클린 룸의 양압을 보장해야합니다. 신선한 공기 유닛의 열 및 습도 처리는 클린 룸에서 기계적인 공기 이슬점으로가는 것이 더 좋았습니다. 신선한 공기의 열 및 습도 처리 점이 청정실의 기계적 이슬점보다 낮은 경우, 신선한 공기는 신선한 공기 자체의 습한 하중을 견딜뿐만 아니라 클린 룸의 습한 하중을 제거합니다. 이때, 순환 유닛의 표면 냉각기는 건식 표면 냉각기 일 수있다.

공기 공급 장치를 정화하고 공기 공급 장치를 공기 조화 장치에서 분리하는 계획을 일반적으로 반 중앙 또는 분산 공기 공급 체계라고합니다. 런타임의 에너지 소비를 크게 절약하기 위해 에어컨 실내 공기 장치 (mau)에 의해 깨끗한 실내 잔류 열 및 습식 에어컨 공기 출력 (일반적으로 공기 출력을 정화하는 클린 룸보다 크게 적음)을 제거합니다. 청정 및 고온 습식 처리, 순환 장치 근처의 청정실에서 공기 출력을 정화하여 고온, 습식 처리 또는 헤드 직접 사용을위한 청정실 순도 보장의 총 50-90 % 클린 룸 청정도 및 미세 조정 온도를 해결하기 위해 천장 팬 필터 장치) 및 건식 코일. 에어컨에 의해 공기 공급과 분리되는이 공기 공급 방식은 작동을 위해 에너지를 절약 할뿐만 아니라 에어컨 룸의 면적을 크게 줄이고 거대한 공기 공급 및 반환 파이프 라인을 절약하며 깨끗한 공간 높이를 줄입니다. 방. 이러한 정화 공기 공급 방식은 에어컨 유닛 (ahu) 추가 팬 필터 유닛 (ffu) 방식, 신선한 공기 유닛 (mau) 추가 사이클 유닛 (rau) 추가 (ffu) 방식; 신선한 공기 장치 (mau) + 팬 필터 장치 (ffu) + 건조한 냉기 튜브

(dc) 및 기타 세 가지 공기 공급 방식.

1. 이 체계에서 공조 장치 ahu (mau) 및 팬 필터 장치 (ffu)의 공기 공급 체계, 공조 시스템의 모든 열 및 습한 부하 (청정실에서 발생하는 열 및 습한 부하 및 신선한 공기의 열 및 습한 부하) )는 에어컨 실에 위치한 에어컨 장치에 의해 운송됩니다. 이때, 공조 장치의 공기 공급 장치는 시스템의 잔류 열과 습도를 제거하기위한 공기 공급 장치입니다 (모든 신선한 공기와 일부 공기를 포함하지만 정화 공기 공급 장치보다 훨씬 적음). 청정실), 청정실의 항온 및 상대 습도를 보장 할 수 있어야합니다. 청정실의 청결은 청정실의 천장에있는 팬 필터 장치 (ffu)에 의해 정화 된 공기 공급을 순환시키고 여과합니다. 이 구성표에서 ffu 작동 중에 발생하는 열도 공조 장치에 의해 전달되어야합니다. 이 방식은 큰 비단 방향 흐름 클린 룸에서 부분 수직 단방향 흐름이있는 혼합 흐름 클린 룸에 더 적합합니다.

2. 에어컨 공기 공급 체계를 정화하기 위해 신선한 공기 장치 (mau) 플러스 (he) 사이클 장치 및 팬 필터 장치 (헤드), 여러 청정실 청결, 온도, 습도, 다른 요구 사항, 실내 열 수율 및 다량의 사이클 장치를 설정하기 위해 각 클린 룸 청정도, 온도, 습도 및 정밀 요구 사항을 보장하기 위해 수분 함량도 비슷합니다. 장치의 원형 공기 출력은 공기 출력을 정화하고 장치 내에서 신선한 공기 장치 열 부족, 습식 공정을 보충하고 청정실 온도 및 습도 정밀 미세 조정 섹션을 보장하는 데 필요한 열, 습식 처리 장비를 설치하십시오. 순환 장치가 클린 룸의 천장에 위치하기 때문에 순환 장치의 공기 공급의 잔류 압력이 상대적으로 작고 장치의 부피와 장치의 소음 및 진동도 작으며 반환 공기 덕트는 비교적 짧습니다. 그러나 순환 장치의 응축수 배출에주의해야합니다. 이 구성표의 신선한 공기 장치는 에어컨 실에 있으며,이 클린 룸에 필요한 모든 신선한 공기는 신선한 공기 장치 (mau)와 중앙 집중식 열 및 습도 처리로 정화됩니다. 그런 다음 각 사이클 장치에 분배되어 리턴 공기와 혼합됩니다. 신선한 공기 장치의 신선한 공기량은 각 클린 룸의 배기를 보충 할뿐만 아니라 각 클린 룸의 양압을 보장해야합니다. 신선한 공기 유닛의 열 및 습도 처리는 클린 룸에서 기계적인 공기 이슬점으로가는 것이 더 좋았습니다. 신선한 공기의 열 및 습도 처리 점이 청정실의 기계적 이슬점보다 낮은 경우, 신선한 공기는 신선한 공기 자체의 습한 하중을 견딜뿐만 아니라 클린 룸의 습한 하중을 제거합니다. 이때, 순환 유닛의 표면 냉각기는 건식 표면 냉각기 일 수있다.

청정실에서 하나 이상의 레벨이 수직 유니 플로 청정실의 수준 1, 10, 100의 높은 정화 수준을 가질 때, 순환 유닛 (he)의 부담을 줄이고 공기 덕트 섹션, 순환을 보내고 반환하기 위해 단위는 uniflow 클린 룸 에어컨 공기 출력을 해결하여 클린 룸 온도, 상대 습도 및 클린 룸 양압을 보장하고 배달의 90 % 이상이 헤드의 클린 룸 천장에 있습니다. 클린 룸의 높은 수준의 청결을 보장하기 위해 부담. 삼. 청정 공기 조절 공기 공급 계획의 신선한 공기 장치 (mau)와 팬 필터 장치 (헤드) 및 건조 냉기 튜브 (dc)는 신선한 공기가 선보다 뜨거운 습식 및 실내 습도를 95 % 이하로 청소하기 위해 신선한 공기 선원 일 것입니다 교차로, 승무원의 신선한 공기 수분 부하는 그 자체뿐만 아니라 청정 실내 수분 부하, 클린 에어의 상대 습도가 필요한 신선한 공기 장치에 부담을줍니다. 신선한 공기 유닛의 열 처리의 불충분 한 부분의 건식 냉각 부하는 청정실 천장 (또는 터널)에 위치한 건식 표면 냉각기에 의해 보충 될 것이다. 드라이 테이블 쿨러는 매달린 천장이나 ffu 순환 공기가 통과하는 터널에 있기 때문에 드라이 테이블 냉각에 의해 구성되는 드라이 냉각 부하는 순환 공기에 의해 클린 룸으로 전달됩니다. 신선한 공기 유닛에 의해 처리 된 신선한 공기는 ffu 순환 공기와 가장 균일하게 혼합 될 수있는 파이프 라인을 통해 청정실의 공기 공급 정압 박스로 보내진다. ffu는 클린 룸의 천장에 배치됩니다. 신선한 공기와 혼합 된 순환 공기는 ffu로 여과되고 클린 룸의 청결을 보장하기 위해 hepa 필터로 여과 된 후 청정실로 보내집니다. ffu의 사양은 주로 1200mm x 600mm 및 1200mm x 1200mm이며 단면 풍속은 0.45m / s 이상이어야하고 잔류 압력은 120pa 이상이어야하며 소음은 ≤50db (a) 여야합니다. ffu 팬 공기량은 조절 가능해야하며 고효율 필터는 교체 가능해야합니다. 건식 냉각 코일은 일반적으로 2 열로 구성됩니다. 저항 ≥3mm의 알루미늄 핀 사이의 간격을 줄이려면 저항 손실은 30 ~ 40pa가되어야합니다. 건식 코일을 통한 순환 풍의 표면 풍속은 & lt; 2m / s이며 1.5m / s 인 것이 좋습니다. 건식 코일의 냉수로 유입되는 수온은 청정실의 이슬점 온도보다 2 ℃ 높아야합니다 (보통 중간 냉수). 건식 코일이라고하지만 초기 작동 중에 응축수가 생성 될 수 있으므로 건식 코일에도 응축수 드립 트레이 및 배수 조치가 있어야합니다.

이 방식에서 클린 룸의 상대 습도는 신선한 공기 유닛 (mau)에 의해 보장되고 클린 룸의 온도는 건조한 냉간 코일에 의해 보장되며 클린 룸의 청결은 ffu에 의해 보장됩니다. 우리나라와 외국 마이크로 전자 공학 (ic) 산업, 광전자 (tft-lcd, lcd, led 등) 산업에서 현재 DC 에어컨 에어컨 공급 계획의 mau plus 헤드 및 정화 등 청결 등급 청결한 작업장은 널리 이용 가능하게되고, 편리한 조정, 에너지 절약을 크게, 업그레이드 과정에 적응하고, 비 생산 영역 및 비 생산 공간의 이점을 크게 절약합니다. 또한 청정 기술 및 청정 장비의 지속적인 개발과 발전으로 ffu 팬의 효율이 지속적으로 향상되고 전력 소비가 지속적으로 감소하며 전체 가격이 지속적으로 감소합니다. 초기 투자는 기본적으로 다른 유형의 공기 공급 방식과 동일하지만 운영 비용이 크게 절감됩니다.