청정실에서 요구되는 온도, 습도, 풍속, 압력 및 청정도를 유지하기 위하여 가장 일반적으로 사용되는 방법은 처리된 공기를 일정량 실내로 지속적으로 보내어 실내의 각종 열습도 간섭과 분진 오염을 제거하는 것입니다. 깨끗한 방. . 일정한 상태의 공기를 클린룸으로 유입시키기 위해서는 연속적으로 실내로 유입되는 공기를 처리하기 위한 전체 장비 세트가 필요하며, 그 중 일부는 지속적으로 실내에서 배출됩니다. 이 전체 장비 세트는 깨끗한 에어컨 시스템.

외기(W)는 외기 유닛으로 정화, 냉각, 제습, 재가열 처리를 거쳐 천정으로 보내집니다. 클린룸의 온습도 조절을 보다 안정적으로 하기 위해 처리된 외부 공기를 클린룸의 요구되는 N 상태로 조절하며, DDC(Direct Digital Control)로 정화된 외부 공기의 정밀한 제어를 구현합니다. . 외기 장치는 깨끗한 물을 분사하기 위해 스프레이 섹션과 재가열 섹션을 사용하므로 점 L은 점 N 아래에 수직으로 위치하는 외기 기계의 이슬점이어야 합니다. 설치된 FFU에 의해 처리된 H-상태 리턴 공기 환기 덕트에서 천장의 신선한 공기 장치에 의해 처리된 신선한 공기와 혼합되어 O-상태 공기 공급을 형성한 다음 여과기에 의해 여과됩니다.F FU로 클린 룸으로. 실내로 보내진 깨끗한 공기는 현열을 흡수하여 실내상태 N이 되며, 그 일부는 공정장비의 배기장치에 의해 실외로 배출되고 나머지 일부는 FFU 처리 후 재사용된다.

원존 ~에 전념 클린룸 천장 시스템, FFU 천장 그리드 시스템 및 HPL 천장 시스템 등.