클린룸은 공기 중 입자와 오염 물질의 수준이 낮은 통제된 환경입니다. 클린룸에 포함된 장비는 시설의 특정 요구 사항과 요구 사항에 따라 달라질 수 있습니다. 클린룸 장비의 일반적인 유형은 다음과 같습니다.

1. HVAC(난방, 환기 및 공조) 시스템: 청정실은 HVAC 시스템을 사용하여 온도, 습도 및 공기 여과를 제어합니다. HVAC 시스템은 필터링되고 조절된 공기를 지속적으로 공급하여 실내에서 원하는 청결 수준을 유지합니다.

2. 공기 필터: 고효율 미립자 공기(HEPA) 필터 또는 초저미립자 공기(ULPA) 필터는 공기에서 입자와 오염 물질을 제거하는 데 사용됩니다. 이 필터는 공조기 및 클린룸 공기 공급 출구에 설치되어 깨끗하고 입자가 없는 환경을 유지합니다.

3. 클린 벤치 및 워크스테이션: 클린 벤치는 HEPA 필터 공기 공급 장치를 갖춘 밀폐형 워크스테이션입니다. 민감한 물질을 취급하거나 실험을 수행하는 등 특정 작업을 수행하기 위해 국부적으로 깨끗하고 멸균된 환경을 제공합니다.

4. 에어 샤워 : 에어 샤워는 사람이나 장비의 입자가 클린룸에 들어가기 전에 불어내는 고속 에어 제트가 장착된 챔버입니다. 표면과 의복에서 느슨한 입자를 제거하여 오염을 줄이는 데 도움이 됩니다.

5. 통과 챔버: 통과 챔버는 교차 오염 없이 클린룸과 인접 영역 간에 자재 및 장비를 전달하는 데 사용됩니다. 깨끗한 구역과 비청결한 구역을 분리하기 위해 한 번에 하나의 문을 열 수 있는 연동 문이 있습니다.

6. 층류 캐비닛 : 층류 캐비닛은 작업 영역 전체에 단방향 공기 흐름을 생성하여 민감한 장비를 취급하거나 높은 수준의 청결이 필요한 절차를 수행하기 위한 멸균 환경을 제공합니다.

7. 클린룸 가구 : 클린룸에는 입자 생성을 최소화하고 청소가 용이하도록 설계된 스테인레스 스틸 작업대, 보관 캐비닛, 재료 이송 카트 및 의자와 같은 특수 가구가 포함될 수 있습니다.

8. 모니터링 및 제어 시스템: 클린룸에는 온도, 습도, 기압 차이, 입자 수 및 기류 속도와 같은 환경 매개변수를 유지하고 모니터링하는 모니터링 및 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이러한 시스템은 클린룸 조건이 지정된 범위 내에 있도록 보장합니다.

9. ESD(정전기 방전) 제어 장비: 클린룸의 요구 사항에 따라 민감한 전자 부품의 손상을 방지하기 위해 접지 바닥재, 정전기 방지 의류, 손목 스트랩 및 신발과 같은 정전기 방전 제어 장비를 사용할 수 있습니다.

클린룸의 특정 장비는 산업, 클린룸 분류 및 클린룸 환경 내에서 수행되는 특정 프로세스에 따라 달라질 수 있다는 점에 유의하는 것이 중요합니다.