소개 클린룸은 부유 입자의 농도가 제어되는 공간입니다. 클린룸의 경우, 청정도 유지는 필수적이며 클린룸 관련 생산 활동의 필수 조건입니다. 일반적으로 클린룸의 설계, 시공 및 운영은 주변 환경의 간섭과 영향을 최소화해야 하며, 클린룸 청정도 유지, 외부 오염 감소 및 교차 오염 방지를 위해 차압 제어가 가장 중요합니다. 가장 효과적인 방법은 클린룸의 정압차가 미치는 영향은 다음과 같습니다. (1) 클린룸의 문과 창문을 닫으면 문과 창문 사이의 틈새로 주변 환경의 오염물질이 클린룸 내부로 침투하는 것을 방지할 수 있다. (2) 클린룸 문과 창문 개방된 경우, 충분한 공기 흐름 속도를 확보하고, 문과 창문의 공기 흐름과 청정실에 들어오는 인원의 공기 흐름을 최소화하며, 공기 흐름 방향을 확보하여 오염 물질 유입을 최소화합니다. 청정실 공정 생산 또는 활동으로 인해 실내 공기에 페니실린과 같은 고감도 약물, 전염성이 높은 고위험 바이러스, 박테리아 등 고위험 물질이 포함될 경우, 클린룸의 압력 차이는 상대적으로 낮아야 합니다. 국내외 표준 및 규정[3], [4], [5], [6], [7], [8], [9]은 클린룸의 외부 압력 차이를 명시하거나 차압 제어 요구 사항 및 지침을 제공합니다. 본 논문에서는 클린룸 차압 제어의 요구 사항을 논의하고 클린룸 차압 제어 방법을 논의합니다. 가) 클린룸 내 압력차 형성 클린룸 시험 및 검사는 설계 단위에 따른 시공 단위의 설계 및 시공 도면입니다. 모든 환기 및 공조 설계가 설치 및 시공된 후, 일부 프로젝트의 경우 세부 항목을 개별적으로 시험 및 측정합니다. 주로 풍량 디버깅 및 차압 디버깅, 청정도 테스트, 클린룸의 온도 및 습도 측정을 수행합니다. (1) 공기량 시운전: 설계 및 시공 도면 설계에 따라 송·복귀 파이프라인을 설계하고, 설계 공기량 크기를 결정하며, 각 파이프라인 복귀 공기 밸브의 개방 상태를 결정하고, 각 분기의 공기량을 시험한다. 본 항목은 여기에서 다루지 않는다. (2) 청정도 시험 : 공기 조건하 시험, 정적 조건하 시험, 동적 조건하 시험으로 구분하여 청정실 내의 먼지 함량을 별도로 시험한다. 비어 있는 조건에서의 테스트는 시스템(청정실)이 정상적으로 작동 중이지만, 공정 장비와 생산 인력은 테스트되지 않았음을 의미합니다. 정적 조건에서의 테스트란 시스템(클린룸)이 정상적으로 작동하고, 공정 장비가 설치되었으나 가동되지 않은 상태에서, 생산 인력이 실내에 없는 상태에서 테스트를 실시하는 것을 의미합니다. 동적 조건에서의 테스트는 시스템(클린룸)이 정상적으로 작동하고, 공정 장비와 생산 인력이 작업하고 있음을 의미합니다. 위의 시험 결과에 따라 시공단위는 다양한 생산 환경 조건에서 먼지 함량 농도를 시험하여 시공 설계자와 시공단위가 요구하는 청정도 수준을 달성하고, 먼지 농도가 항상 이 값보다 낮도록 보장하며, 시공단위에 적합하게 인도하여 사용하도록 해야 한다. (3) 차압 디버깅: 외부 오염이 클린룸으로 유입되는 것을 방지하고 실내 청정도를 높이기 위해 실내 압력이 외부 압력보다 높게 유지되도록 요구합니다. 즉, 클린룸의 다른 청정도 요구 사항은 특정 압력 구배를 유지해야 하며, 이는 인접한 방의 압력 차이로 인한 클린룸 오염이나 오염을 효과적으로 방지할 수 있습니다. 차압 디버깅 과정에서 클린룸의 공기 교환 횟수와 장비 배출 공기 및 먼지 제거 효과를 보장하기 위해 공기 공급량과 장비 배출 팬 및 먼지 제거 팬의 풍량을 변경하지 않도록 합니다. 압력 차이는 주로 복귀 공기량과 시스템 배출 공기량을 조정하여 조정합니다. 클린룸 설계 사양은 클린룸 내부의 압력이 외부 압력보다 높다고 명확히 명시하고 있으며, 이를 양압 클린룸과 음압 클린룸이라고 합니다. 양압과 음압의 경우, 한 방은 대기에 대해 양압실이지만 다른 방은 음압실일 수 있습니다. 또한 클린룸과 클린 구역 및 비클린 구역 사이의 압력 차이는 없어야 한다고 규정되어 있습니다. 5Pa 이하이어야 하며, 청정구역과 실외구역의 압력차는 10Pa 이상이어야 합니다. 정화 시스템 작동. 디버깅을 통해 시스템 작동 시 발생하는 문제를 파악하여 설계 계획을 개선하고, 시공 과정을 표준화하며, 상기 문제들을 예방할 수 있습니다. 시운전 작업은 클린룸의 압력차와 청정도를 표준 수준으로 유지하는 데 중요하고 필수적인 단계입니다. 시스템의 정상적인 작동은 생산의 정상적인 활용을 의미합니다. 2. 클린룸에서의 압력차 제어방식 선정 및 논의 현재 클린룸에서 일반적으로 사용되는 차압 제어 방법은 기본적으로 두 가지 유형이 있습니다. 하나는 정적 제어, 일정 풍량 제어라고 하며, 다른 하나는 동적 제어라고 합니다. 2.1 풍량 제어 원리 공조 시스템은 공기 공급, 회수 및 배기 공기량을 합리적으로 설계하고 조절하여 다양한 청정 수준과 실내외 압력 차이 요구 사항을 달성합니다. 압력차는 클린룸의 흡입 공기량과 배기 공기량 + 차압 공기량(잔류 공기량)이 평형에 도달할 때 발생합니다. 여기서 배출 공기량은 외부로 배출되는 배기 공기량과 복귀 공기량을 포함합니다. DC 시스템의 경우 신선한 공기 = 배기 공기 + PDC 순환 시스템의 경우 신선 공기 + 복귀 공기 = 복귀 공기 + 배출 공기 + 차압 공기 따라서 최종 분석에서 압력 차이의 본질은 다음과 같습니다. 새로운 공기량 = 배기 공기량 + 압력 차이 공기량 따라서 클린룸 내 PDC 설치 조정은 신선공기량과 배기공기량 + PDC의 균형을 반영해야 합니다. (1) 직류계통에 일정량의 공기를 공급하고 배출공기량을 조절하여 차압을 형성한다. (2) 순환계의 경우 일정량의 공기를 공급합니다. 일반적으로 배기량은 필요에 따라 조절 가능하며, 이후 복귀량을 조절하여 압력차를 형성합니다. (3) 일부 청정실에 별도의 배기풍량이 없는 경우, 복귀풍량을 조절하여 압력차를 확보한다. 청정실의 유입풍량은 확실해야 하므로 제어변수로 사용할 수 없다. 합리적인 설계와 디버깅을 통해 압력차를 확보할 수 있다. 2.2 제어 모드 일정한 공기량 제어를 위한 두 가지 시스템이 있습니다. (1) 수동 제어 차압을 수동으로 조절한 후 공급, 복귀 및 배기 공기...
(가) 공조시스템의 정화 구분 원리 1, 청정도, 온도, 습도 및 그 정확도는 동일하거나 유사한 청정실의 공기 정화 시스템으로 구분되어야 한다. 청결, 온도, 습도를 쉽게 조절할 수 있습니다. 2. 서로 인접한 클린룸은 하나의 시스템으로 분류해야 하며, 이를 통해 시스템 파이프라인의 길이와 파이프라인 교차를 줄일 수 있습니다. 3. 조건이 허락하는 경우, 혼합 흐름 정화 공조 시스템은 4, 5개의 단방향 흐름과 6, 7, 8개의 비단방향 흐름으로 구성될 수 있습니다. 4. 클린룸은 일반 공조실과 하나의 시스템으로 결합되어서는 안 됩니다. 5. 사용법과 사용시간이 동일하지 않아 청정실은 공기 정화 시스템에 적합하지 않습니다. 6. 먼지 발생, 발열, 유해물질, 소음 등의 발생이 있는 실내는 별도의 시스템으로 설계해야 한다. 7. 혼합 후 화재 및 폭발을 일으킬 수 있는 고독성의 실내는 하나의 정화형 공기조화 시스템으로 통합하여 사용할 수 없습니다. 8. 독성이 강하고 인화성, 폭발성이 있는 a, b실은 별도의 시스템을 갖추어야 하며, 공기 DC 시스템으로 반환해서는 안 됩니다. 9, 공기 정화 시스템은 너무 커지기 쉽지 않습니다. 일반적으로 정화 공기 공급량은 10만㎥를 초과해서는 안 됩니다. 그렇지 않으면 공기 처리 장비가 너무 크고 소음이 심하며, 환류 덕트가 크고 공간과 면적을 많이 차지하며, 사용이 유연하지 않습니다. 10. 청정공조시스템 부문은 공기덕트, 환류덕트, 배기덕트 및 물, 전기, 가스 등의 파이프라인 배치를 고려하여 가능한 한 합리적이고, 짧고, 사용하기 편리한 관리를 하고, 교차 및 중복을 줄여야 합니다. 11. 공조시스템의 신선공기 열, 습도 및 정화처리는 중앙집중식 또는 분산식으로 처리가 가능합니다. 공정장비의 국소배기시스템 분할원리 1. 공정장비의 부분배기 시스템은 너무 크지 않아야 하며, 각 배기 시스템의 배출 포인트도 너무 많지 않아야 배출 공기 관리 및 조정이 편리하고 배출 효과가 좋습니다. 2. 하나의 배기 공기 시스템이 두 개 이상의 정화 공기 조절 시스템을 교차해서는 안 됩니다. 3. 혼합 후 독성, 폭발성, 화재, 응축, 결정화 및 유해물질을 발생시키는 배기공기는 하나의 배기공기 계통에 합산되어서는 아니 된다. 4. 여러 방과 장비의 배기가 하나의 배기 시스템으로 합쳐져서는 안 됩니다. 5. 클린룸 정화 공조 시스템의 공기 공급 유형 비교 및 선정 (가) 공기 정화 및 공조를 겸한 공기 공급 방식으로, 일반적으로 중앙 집중형 공기 공급 방식이라고도 합니다. 공조실에 설치된 공기조화유닛(AHU)을 정화하는 방안은, 모든 공조공급공기의 정화는 정화공조유닛과 열, 습식처리공정에서 이루어지며, 대형공급공기덕트는 모든 공기를 청정실 콘돌탑으로 공급하고, 재통과하는 곳에 위치시킨다. 클린룸 천장 터미널 HEPA 필터 또는 효율적인 필터는 실내 공기 공급구의 여과된 공기를 정화하여 청정실 공정에 필요한 온도, 습도, 청정도 및 실내 압력 차이를 실현합니다. 클린룸의 환기는 환기구와 환기 덕트를 거쳐 공조실의 정화 공조 유닛으로 연결됩니다. 신선한 공기와 혼합된 후, 공기 정화 및 온습 처리를 반복합니다. 이 방식은 완전 신선 공기 공급 방식(DC 시스템)으로 나눌 수 있습니다. 1회 공기 반환 프로그램 1차 및 2차 공기 회수 방식과 MAU와 FFU 방식은 4가지의 서로 다른 공기 공급 유형입니다. 이 공기 공급 방식은 청정실, 특히 일방향 흐름이 아닌 청정실에 가장 널리 사용되는 공기 공급 방식입니다. 이 공기 공급 방식의 시스템 구분은 명확하며, 공기량, 온도, 습도의 제어 및 조절이 단일합니다. 그러나 청정도가 높고 공급 공기량이 클수록 공조실의 면적이 넓어지고, 공급 공기 및 환수 공기관의 용적이 큰 면적과 공간을 차지하며, 공급 공기 및 환수 공기관이 길어지고, 공급 팬의 잔류 압력이 높아지고, 소음이 크고, 공급 공기가 많은 전력을 소모하게 됩니다. 따라서 이러한 공기 공급 방식은 하위 레벨의 비단방향 흐름 클린룸의 공기 공급에 더 적합하고, 레벨 5 이상의 단방향 흐름 클린룸의 공기 공급에는 경제적이고 합리적이지 않습니다. 1. AHU의 신선공기 공급 방식(DC 시스템) 완전한 신선 공기 정화 공기 공급 방식은 반환 공기가 허용되지 않는 청정실의 특수 공기 공급 방식에 사용됩니다. 예를 들어, 청정실 공정의 생산은 A등급 및 B등급 화재 위험 수준으로 분류되거나 해당 공정에서 청정 공기 공급 시스템으로 공기를 되돌릴 수 없는 고도로 독성이 강하고 기타 유해 물질이 생성됩니다. 2. AHU 1차 공기 회수의 공기 공급 계획 1차 공기 회수 방식의 공기 공급 방식은 일반적으로 발열량이나 수분 발생량이 큰 청정실에서 사용되며, 실내 잔류 열 또는 수분의 공기 공급량은 청정도 등급이 낮은 비일방향 흐름 청정실의 정화 공기 공급량보다 크거나 같거나 가깝습니다. 3. AHU 1차 및 2차 공기 회수를 갖춘 정화형 에어컨의 공기 공급 계획 에너지를 절약하기 위해 공기의 열을 제거하고 열과 습도 처리 과정에서 열을 서로 상쇄합니다. 청정실 정화 공기 공급 용량은 에어컨의 공기 공급 용량보다 커서 잔여 열과 습도를 제거합니다. 시스템 공기 공급 지점에서 1차 및 2차 공기 반환 프로그램, 2차 혼합 지점 설계를 사용하는 것이 가장 좋습니다. 이 측면이 가장 에너지 절약적이고 가장 경제적인 공기 공급 프로그램입니다. 4.MAU+RAU의 정화공조를 위한 공기공급 방안 이 솔루션은 여러 개의 클린룸 청결도, 온도, 습도 등 다양한 요구 사항을 충족하고, 실내 열과 수분 함량의 수율도 유사합니다. 각 클린룸의 청결도, 온도, 습도 및 정밀도 요구 사항을 보장하기 위해 여러 개의 사이클 단위를 설치하고, 단위의 순환 공기 출력을 통해 공기를 정화하고, 단위 내에 필요한 열, 습식 처리 장비를 설치하여 신선한 공기의 부족을 보충하고, 단위의 열, 습식 처리를 통해 클린룸의 온도와 습도의 정밀 조정 구간을 보장합니다. 순환 유닛이 청정실의 천장에 위치하므로 순환 유닛의 공기 공급 잔류 압력이 비교적 작고, 유닛의 부피와 유닛의 소음 및 진동도 작으며, 환수 덕...
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