(가) 공조시스템의 정화 구분 원리

1, 청정도, 온도, 습도 및 그 정확도는 동일하거나 유사한 청정실의 공기 정화 시스템으로 구분되어야 한다. 청결, 온도, 습도를 쉽게 조절할 수 있습니다. 2. 서로 인접한 클린룸은 하나의 시스템으로 분류해야 하며, 이를 통해 시스템 파이프라인의 길이와 파이프라인 교차를 줄일 수 있습니다.

3. 조건이 허락하는 경우, 혼합 흐름 정화 공조 시스템은 4, 5개의 단방향 흐름과 6, 7, 8개의 비단방향 흐름으로 구성될 수 있습니다.

4. 클린룸은 일반 공조실과 하나의 시스템으로 결합되어서는 안 됩니다.

5. 사용법과 사용시간이 동일하지 않아 청정실은 공기 정화 시스템에 적합하지 않습니다.

6. 먼지 발생, 발열, 유해물질, 소음 등의 발생이 있는 실내는 별도의 시스템으로 설계해야 한다.

7. 혼합 후 화재 및 폭발을 일으킬 수 있는 고독성의 실내는 하나의 정화형 공기조화 시스템으로 통합하여 사용할 수 없습니다.

8. 독성이 강하고 인화성, 폭발성이 있는 a, b실은 별도의 시스템을 갖추어야 하며, 공기 DC 시스템으로 반환해서는 안 됩니다.

9, 공기 정화 시스템은 너무 커지기 쉽지 않습니다. 일반적으로 정화 공기 공급량은 10만㎥를 초과해서는 안 됩니다. 그렇지 않으면 공기 처리 장비가 너무 크고 소음이 심하며, 환류 덕트가 크고 공간과 면적을 많이 차지하며, 사용이 유연하지 않습니다.

10. 청정공조시스템 부문은 공기덕트, 환류덕트, 배기덕트 및 물, 전기, 가스 등의 파이프라인 배치를 고려하여 가능한 한 합리적이고, 짧고, 사용하기 편리한 관리를 하고, 교차 및 중복을 줄여야 합니다.

11. 공조시스템의 신선공기 열, 습도 및 정화처리는 중앙집중식 또는 분산식으로 처리가 가능합니다.

공정장비의 국소배기시스템 분할원리

1. 공정장비의 부분배기 시스템은 너무 크지 않아야 하며, 각 배기 시스템의 배출 포인트도 너무 많지 않아야 배출 공기 관리 및 조정이 편리하고 배출 효과가 좋습니다.

2. 하나의 배기 공기 시스템이 두 개 이상의 정화 공기 조절 시스템을 교차해서는 안 됩니다.

3. 혼합 후 독성, 폭발성, 화재, 응축, 결정화 및 유해물질을 발생시키는 배기공기는 하나의 배기공기 계통에 합산되어서는 아니 된다.

4. 여러 방과 장비의 배기가 하나의 배기 시스템으로 합쳐져서는 안 됩니다.

5. 클린룸 정화 공조 시스템의 공기 공급 유형 비교 및 선정

(가) 공기 정화 및 공조를 겸한 공기 공급 방식으로, 일반적으로 중앙 집중형 공기 공급 방식이라고도 합니다. 공조실에 설치된 공기조화유닛(AHU)을 정화하는 방안은, 모든 공조공급공기의 정화는 정화공조유닛과 열, 습식처리공정에서 이루어지며, 대형공급공기덕트는 모든 공기를 청정실 콘돌탑으로 공급하고, 재통과하는 곳에 위치시킨다. 클린룸 천장 터미널 HEPA 필터 또는 효율적인 필터는 실내 공기 공급구의 여과된 공기를 정화하여 청정실 공정에 필요한 온도, 습도, 청정도 및 실내 압력 차이를 실현합니다. 클린룸의 환기는 환기구와 환기 덕트를 거쳐 공조실의 정화 공조 유닛으로 연결됩니다. 신선한 공기와 혼합된 후, 공기 정화 및 온습 처리를 반복합니다. 이 방식은 완전 신선 공기 공급 방식(DC 시스템)으로 나눌 수 있습니다. 1회 공기 반환 프로그램 1차 및 2차 공기 회수 방식과 MAU와 FFU 방식은 4가지의 서로 다른 공기 공급 유형입니다. 이 공기 공급 방식은 청정실, 특히 일방향 흐름이 아닌 청정실에 가장 널리 사용되는 공기 공급 방식입니다. 이 공기 공급 방식의 시스템 구분은 명확하며, 공기량, 온도, 습도의 제어 및 조절이 단일합니다. 그러나 청정도가 높고 공급 공기량이 클수록 공조실의 면적이 넓어지고, 공급 공기 및 환수 공기관의 용적이 큰 면적과 공간을 차지하며, 공급 공기 및 환수 공기관이 길어지고, 공급 팬의 잔류 압력이 높아지고, 소음이 크고, 공급 공기가 많은 전력을 소모하게 됩니다. 따라서 이러한 공기 공급 방식은 하위 레벨의 비단방향 흐름 클린룸의 공기 공급에 더 적합하고, 레벨 5 이상의 단방향 흐름 클린룸의 공기 공급에는 경제적이고 합리적이지 않습니다.

1. AHU의 신선공기 공급 방식(DC 시스템)

완전한 신선 공기 정화 공기 공급 방식은 반환 공기가 허용되지 않는 청정실의 특수 공기 공급 방식에 사용됩니다. 예를 들어, 청정실 공정의 생산은 A등급 및 B등급 화재 위험 수준으로 분류되거나 해당 공정에서 청정 공기 공급 시스템으로 공기를 되돌릴 수 없는 고도로 독성이 강하고 기타 유해 물질이 생성됩니다.

2. AHU 1차 공기 회수의 공기 공급 계획

1차 공기 회수 방식의 공기 공급 방식은 일반적으로 발열량이나 수분 발생량이 큰 청정실에서 사용되며, 실내 잔류 열 또는 수분의 공기 공급량은 청정도 등급이 낮은 비일방향 흐름 청정실의 정화 공기 공급량보다 크거나 같거나 가깝습니다.

3. AHU 1차 및 2차 공기 회수를 갖춘 정화형 에어컨의 공기 공급 계획

에너지를 절약하기 위해 공기의 열을 제거하고 열과 습도 처리 과정에서 열을 서로 상쇄합니다. 청정실 정화 공기 공급 용량은 에어컨의 공기 공급 용량보다 커서 잔여 열과 습도를 제거합니다. 시스템 공기 공급 지점에서 1차 및 2차 공기 반환 프로그램, 2차 혼합 지점 설계를 사용하는 것이 가장 좋습니다. 이 측면이 가장 에너지 절약적이고 가장 경제적인 공기 공급 프로그램입니다.

4.MAU+RAU의 정화공조를 위한 공기공급 방안

이 솔루션은 여러 개의 클린룸 청결도, 온도, 습도 등 다양한 요구 사항을 충족하고, 실내 열과 수분 함량의 수율도 유사합니다. 각 클린룸의 청결도, 온도, 습도 및 정밀도 요구 사항을 보장하기 위해 여러 개의 사이클 단위를 설치하고, 단위의 순환 공기 출력을 통해 공기를 정화하고, 단위 내에 필요한 열, 습식 처리 장비를 설치하여 신선한 공기의 부족을 보충하고, 단위의 열, 습식 처리를 통해 클린룸의 온도와 습도의 정밀 조정 구간을 보장합니다. 순환 유닛이 청정실의 천장에 위치하므로 순환 유닛의 공기 공급 잔류 압력이 비교적 작고, 유닛의 부피와 유닛의 소음 및 진동도 작으며, 환수 덕트가 비교적 짧습니다. 하지만 순환유닛의 응축수 배출에 주의를 기울여야 합니다. 이 방식의 신선 공기 장치는 공조실에 위치하며, 이러한 청정실에 필요한 모든 신선 공기는 신선 공기 장치(MAU)와 중앙 집중식 열 및 습도 처리를 통해 정화됩니다. 그런 다음 각 사이클 유닛에 분배되어 반환 공기와 혼합됩니다. 신선공기 유닛의 신선공기량은 각 청정실의 배기공기를 보충할 뿐만 아니라 각 청정실의 양압을 보장해야 합니다. 신선 공기 유닛의 열습 처리는 클린룸 공기의 기계적 이슬점에 맞춰야 합니다. 신선 공기의 열습 처리점이 클린룸의 기계적 이슬점보다 낮으면 신선 공기가 신선 공기 자체의 습부하를 견딜 뿐만 아니라 클린룸의 습부하도 제거합니다. 이 경우, 순환 유닛의 표면 냉각기는 건식 표면 냉각기가 될 수 있습니다.

공기 공급을 정화하고 공기 공급과 에어컨을 분리하는 방식을 일반적으로 반중앙식 또는 분산형 공기 공급 방식이라고 합니다. 런타임의 에너지 소비를 대폭 절감하기 위해 깨끗한 실내의 잔여 열과 습한 에어컨 공기 출력을 제거합니다(일반적으로 클린룸에서 정화한 공기 출력보다 훨씬 적음). 에어컨 실내 공기 장치(MAU)에서 정화하고 고온 습식 처리하며, 클린룸의 순도 보장의 50~90%를 정화하기 위해 클린룸 근처의 순환 장치에서 정화하고 고온 습식 처리를 추가하거나 천장 선풍기 필터 장치)와 건식 코일을 직접 사용하여 클린룸의 청정도 수준과 온도를 미세 조정합니다. 이러한 공기 공급 방식은 공조에 의한 공기 공급과 분리되어 있어 운영에 필요한 에너지를 절감할 수 있을 뿐만 아니라 공조실 면적을 대폭 줄이고, 거대한 공기 공급 및 회수 파이프라인을 절약하며, 청정실의 공간 높이를 낮출 수 있습니다. 이러한 정화 공기 공급 방식은 다음과 같이 나눌 수 있습니다. 에어컨 장치(AHU)에 팬 필터 장치(FFU)를 추가하는 방식, 신선 공기 장치(MAU)에 사이클 장치(RAU)를 추가하는 방식(FFU)입니다. 신선 공기 유닛(MAU) + 팬 필터 유닛(FFU) + 건식 냉각 튜브

(DC) 및 기타 3개의 공기 공급 계획.

1. 공조 장치 AHU(MAU) 및 팬 필터 장치(FFU)의 공기 공급 방식 이 방식에서 공조 시스템의 모든 열 및 습부하(청정실에서 발생하는 열 및 습부하와 신선한 공기의 열 및 습부하)는 공조실에 위치한 공조 장치가 부담합니다. 이때, 공조장치의 공기 공급은 시스템의 잔여 열과 습기를 제거하기 위한 공기 공급(모든 신선한 공기와 일부 복귀 공기 포함, 청정실의 청결을 보장하기 위한 정화 공기 공급보다는 훨씬 적음)이며, 청정실의 일정한 온도와 상대 습도를 보장할 수 있어야 합니다. 클린룸의 청결은 클린룸 천장에 있는 팬 필터 장치(FFU)를 통해 보장되며, 이 장치는 정화된 공기를 순환시키고 여과합니다. 이 계획에서 주의해야 할 점은 FFU가 작동하는 동안 발생하는 열도 에어컨 장치에서 흡수해야 한다는 것입니다. 이 방식은 대규모 비단일 방향 흐름 클린룸에서 부분적인 수직 단방향 흐름이 있는 혼합 흐름 클린룸에 더 적합합니다.

2. 신선공기유닛(MAU)에 (he) 사이클유닛과 팬필터유닛(헤드)을 더해 공조공기 공급계획을 정화하는데, 이 계획은 여러 개의 청정실 청정도, 온도, 습도에 대한 다양한 요구 사항을 충족시키기 위해 사용되며, 실내 열과 수분함량의 수율도 유사하다. 각 청정실의 청정도, 온도, 습도 및 정밀도 요구 사항을 보장하기 위해 여러 개의 사이클유닛을 설치하고, 유닛의 순환공기 출력을 정화하여 출력을 정화하고, 유닛 내에 필요한 열, 습식처리장비를 설치하여 신선공기유닛의 열, 습식처리로 부족한 부분을 보충하고 청정실의 온도와 습도의 정밀한 미세조정 구간을 확보한다. 순환 유닛이 청정실의 천장에 위치하므로 순환 유닛의 공기 공급 잔류 압력이 비교적 작고, 유닛의 부피와 유닛의 소음 및 진동도 작으며, 환수 덕트가 비교적 짧습니다. 하지만 순환유닛의 응축수 배출에 주의를 기울여야 합니다. 이 방식의 신선 공기 장치는 공조실에 위치하며, 이러한 청정실에 필요한 모든 신선 공기는 신선 공기 장치(MAU)와 중앙 집중식 열 및 습도 처리를 통해 정화됩니다. 그런 다음 각 사이클 유닛에 분배되어 반환 공기와 혼합됩니다. 신선공기 유닛의 신선공기량은 각 청정실의 배기공기를 보충할 뿐만 아니라 각 청정실의 양압을 보장해야 합니다. 신선 공기 유닛의 열습 처리는 클린룸 공기의 기계적 이슬점에 맞춰야 합니다. 신선 공기의 열습 처리점이 클린룸의 기계적 이슬점보다 낮으면 신선 공기가 신선 공기 자체의 습부하를 견딜 뿐만 아니라 클린룸의 습부하도 제거합니다. 이 경우, 순환 유닛의 표면 냉각기는 건식 표면 냉각기가 될 수 있습니다.

클린룸 내에 1, 10, 100레벨 이상의 고정화 레벨을 갖는 수직 유니플로우 클린룸이 여러 개 있는 경우, 순환 유닛(he)의 부담을 줄이고 송풍 및 회수 공기 덕트 구간을 순환 유닛만으로 해결하여 클린룸의 온도, 상대습도 및 클린룸의 양압을 확보하고, 대부분 90% 이상의 공급이 유니플로우 클린룸에 위치합니다. 클린룸 천장 패널 머리에 부담을 주는 것을 피하고, 클린룸의 높은 수준의 청결을 보장합니다. 3. 신선한 공기 유닛(MAU)과 팬 필터 유닛(헤드) 및 건식 냉각관(DC)을 더한 정화형 에어컨 공기 공급 계획은 신선한 공기가 깨끗한 실내의 더운 습기보다 높은 선과 상대 습도가 95% 이하의 선 교차점에 도달할 때까지 신선한 공기 승무원이 신선한 공기 수분 부하를 자체적으로 부담할 뿐만 아니라 깨끗한 실내 수분 부하에도 부담을 주므로 신선한 공기 유닛은 깨끗한 실내의 상대 습도를 보장해야 합니다. 신선 공기 유닛의 열처리 중 부족한 부분의 건식 냉각 부하는 청정실 천장(또는 터널)에 위치한 건식 표면 냉각기에 의해 보충됩니다. 건식 테이블 냉각기는 FFU 순환 공기가 통과하는 매달린 천장이나 터널에 위치하므로, 건식 테이블 냉각으로 인한 건식 냉각 부하는 순환 공기를 통해 클린룸으로 전달됩니다. 신선공기 유닛에서 처리된 신선공기는 FFU 순환공기와 가장 균일하게 혼합될 수 있는 파이프라인을 통해 청정실의 공기 공급 정압 상자로 보내집니다. FFU는 클린룸 천장에 설치되어 있습니다. 신선한 공기와 혼합된 순환 공기는 FFU에 의해 필터링되고, 헤파 필터로 필터링된 후 클린룸으로 보내져 클린룸의 청결을 보장합니다. FFU의 규격은 주로 1200mm×600mm, 1200mm×1200mm이며, 구간 풍속은 ≥0.45m/s, 잔류압력은 ≥120Pa, 소음은 ≤50dB(A)이어야 합니다. FFU 팬 공기량은 조절 가능해야 하며, 고효율 필터는 교체 가능해야 합니다. 건식 냉간 코일은 일반적으로 두 줄로 구성됩니다. 저항 ≥3mm의 알루미늄 핀 간격을 줄이려면 저항 손실이 30~40Pa가 되어야 합니다. 건식 코일을 통과하는 순환풍의 표면 풍속은 2m/s 미만이며, 1.5m/s가 더 좋습니다. 건식코일의 냉수로 유입되는 수온은 청정실의 이슬점 온도(일반적으로 중냉수라고 함)보다 2℃ 높아야 합니다. 건식 코일이라고는 하지만 초기 작동 시 응축수가 발생할 수 있으므로 건식 코일에는 응축수 걸림판과 배수 대책이 필요합니다.

이 방식에서는 청정실의 상대습도는 신선공기유닛(MAU)에 의해 보장되고, 청정실의 온도는 건냉코일에 의해 보장되며, 청정실의 청결도는 FFU에 의해 보장됩니다. MAU 플러스 헤드 및 DC 에어컨 공기 공급 계획의 정화는 현재 우리나라와 해외 마이크로 전자(IC) 산업, 광전자(TFT-LCD, LCD, LED 등) 산업 등 대규모 지역에서 고청정 등급의 클린 작업장이 널리 보급되었으며, 조정이 편리하고 에너지가 크게 절약되어 업그레이드 프로세스에 적응하고 비생산 영역을 대폭 절약하며 비생산 공간의 이점을 누릴 수 있습니다. 또한, 청정 기술과 청정 장비의 지속적인 발전과 진보에 따라 FFU 팬의 효율은 지속적으로 향상되고, 전력 소비량은 지속적으로 감소하며, 전체 가격도 지속적으로 하락하고 있습니다. 초기 투자 비용은 다른 유형의 공기 공급 방식과 기본적으로 동일하지만 운영 비용은 크게 절감됩니다.