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100,000급 클린룸을 구축하려면 어떤 기준을 충족해야 하나요?

Nov 18,2024

클린룸 건설 시 100,000레벨 클린룸 기준을 달성하는 방법과 주의할 점은 무엇입니까? Wenzhong은 다음 사항을 소개합니다.

공기 청정도
먼지 입자의 최대 허용 개수 : 공기 1입방미터당 0.5미크론 이상의 입자 수는 350만 개를 초과할 수 없으며, 5미크론 이상의 입자 수는 20,000개를 초과할 수 없습니다.
최대 허용 미생물 수: 부유 박테리아 수는 500/m²를 초과해서는 안 됩니다. 침전 박테리아의 수는 페트리 접시당 10개를 초과하지 않아야 합니다

압력차
동일한 청정도의 클린룸 간 압력차는 일정하게 유지되어야 합니다. 서로 다른 청정도 수준의 인접한 청정실의 경우 압력 차이는 5Pa이어야 하며 청정실과 비청정실 간의 압력 차이는 10Pa이어야 합니다. 그래야 공기가 청정 구역에서 비청정 구역으로 흐르고 공기 역류를 피하십시오.

환기 횟수
환기는 시간당 15~19회이며, 완전 환기 후 공기정화 시간은 40분을 초과할 수 없다.

온도 및 습도
온도는 일반적으로 20~26°로 제어되며 겨울에는 20~22°, 여름에는 24~26°로 제어할 수 있으며 변동폭은 ±2°입니다. ...: 상대습도는 겨울에는 30%-50%, 여름에는 50%-70%로 관리됩니다.

소음 제어
동적감지시 소음레벨은 65dB(A)를 초과하지 않아야 한다.

조명
클린룸의 주요 생산 영역의 총 조도 값은 300lx 이상이어야 합니다. 보조 스튜디오, 인력 청소 및 자재 청소실, 밀폐실, 복도 등의 조도 값은 200-300lx여야 합니다. .

급기 및 환기 방식
공기 공급 방법: 국부적으로 천공된 천장 공기 공급; 고효율 공기 필터 및 디퓨저가 장착된 천장 공기 공급 장치; 상부 측벽 공기 공급 장치
복귀 공기 방식: 복귀 공기 배출구는 한쪽 측벽의 하부에 위치합니다. 복도 환기를 사용할 경우 환기 공기 배출구는 복도에 균등하게 배열되거나 복도 끝에 집중되어야 합니다.
풍속: 오리피스에서 3-5m/s; 측면 공기 배출구에서 2-5m/s; 같은 측벽 하부에서는 1.5~2.5m/s, 반대편 측벽 하부에서는 1.0~1.5m/s

인력 및 장비관리
직원 출입 관리: 직원은 작업장에 먼지가 유입되지 않도록 들어가기 전에 옷을 갈아입고 손을 씻고 에어샤워를 해야 합니다.
장비 관리: 먼지 발생을 줄이기 위해 장비를 정기적으로 유지 관리하고 청소해야 합니다. 동시에, 장비의 설치 위치는 공기 흐름에 악영향을 미치지 않도록 합리적이어야 합니다.

건축자재
작업장의 공기질에 대한 외부환경의 영향을 줄이기 위해 풍향, 온도, 습도 등 현지 기후조건을 고려하여 오염원이 없는 깨끗한 환경에서 시공을 선택해야 한다.
건물 설계는 관련 국가 표준을 준수해야 하며 외부 먼지가 유입되지 않도록 폐쇄형 구조를 채택해야 합니다. 작업장 내부에는 타일, 에폭시수지 등 매끄럽고 청소가 쉬운 재질을 사용하여야 한다.

 
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