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클린룸에 대한 전자 산업 요구 사항

Jan 10, 2020

클린룸의 전자 산업 요구 사항은 클린룸에 다음을 갖추어야 합니다. 에어샤워 , 깨끗한 창고, FFU 정화 장치, 고효율 필터, 고효율 공기 배출구, 이송창 등이 갖춰져 있습니다. 이러한 장비가 갖춰져 있지 않더라도 귀하의 요구 사항은 표준에 부합합니다.

전자 산업의 클린룸 요구 사항 깨끗한 객실 : 클린룸은 클린 작업장, 클린룸, 클린룸이라고도 합니다. 전자 공장에는 다양한 생산 공정이 있으며, 집적회로 생산(포토마스크, 전면 공정, 후면 공정으로 구분), 핑난 디스플레이 생산(LCD, PDP, TFT, VFD, 브라운관으로 구분), 실리콘 소재 생산(단결정 실리콘, 폴리실리콘), 광섬유 생산, 카드 제조, 표면실장(SMT), 분리 소자 생산(전력 1차, 2차, 3차 진공관, 커패시터, 저항기), 완제품 조립 생산(셋톱박스, 디지털 프로젝터, 전자식 디지털 카메라), 자동 제어 부품 생산(센서, 액추에이터) 등이 있습니다.


생산 공정의 다양성으로 인해 청정도 수준에 대한 요구 사항이 다르며 높으면 높고 낮으면 낮습니다. 입자 크기 제어에 대한 요구 사항도 다르며 범위는 약 0.1~5um입니다. 온도 및 습도 제어에 대한 요구 사항은 비교적 높습니다. 예를 들어, 집적 회로의 이전 단계는 일반적으로 22°C(정확도 ± 0.1~± 1°C)의 기준 온도와 40%의 상대 습도 기준(정확도 ± 2~± 5°C)이 필요합니다. 양압 값에 필요한 기울기 수준은 청정도가 높은 것에서 낮은 것으로 바뀌며 차이는 5~10Pa입니다.

무진공 작업장의 냉각부하 전자 산업 다른 산업에 비해 훨씬 큰 규모이며, 단위 냉방 부하는 400~500W/㎡에 달합니다. 냉방 부하가 크기 때문에 겨울철에도 냉방이 필요한데, 이는 전자 산업의 특성입니다.
전자 산업 생산 과정에서는 다양한 종류의 유해 가스가 발생하고 그 양도 많기 때문에 배출 공기량과 신선 공기 필요량 또한 많습니다. 새로운 배출 공기의 에너지 절감 조치 또한 산업의 특징 중 하나입니다. 배출 전에 배출 공기 부하를 친환경적으로 처리해야 합니다.

전자 산업의 생산 공정에는 정전기 방지 및 진동 방지 요구 사항이 필요하며, 높은 순도와 청결성이 요구되는 다양한 유형의 벌크 가스 및 특수 가스가 있습니다.
1. 전자공장 10,000레벨 클린룸의 소음수준(공허상태) : 65dB(A) 이하

2. 전자공장의 클린룸은 60% 이상 채워져야 하며, 수평단방향흐름 클린룸은 40% 이상 채워져야 합니다. 그렇지 않으면 부분단방향흐름이 됩니다.

3. 전자제품 제조업체의 청정실과 외부의 정압차는 10Pa 이상이어야 하며, 청정구역과 공기청정도가 다른 비청정구역의 정압차는 5Pa 이상이어야 한다.

4. 전자 제조 산업의 10,000 레벨 클린룸의 신선 공기량은 다음 두 가지 항목 중 최대값을 가져야 합니다.

5. 실내 공기량과 양압을 유지하는 데 필요한 신선한 공기량의 합계입니다.

6. 청정실에서 1인당 1시간 동안 신선한 공기의 양이 40m3 이상 되도록 하세요.


 
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