클린룸의 청결도는 종종 기류의 영향을 받습니다. 다시 말해, 사람, 기계실, 건물 구조물에서 발생하는 먼지의 이동과 확산은 기류에 의해 좌우됩니다.
클린룸은 HEPA와 ULPA 필터를 사용하여 공기를 필터링하며, 먼지 포집률은 99.97~99.99995%에 달합니다. 따라서 이 필터로 필터링된 공기는 매우 깨끗하다고 할 수 있습니다. 하지만 사람 외에도 실내에는 먼지의 원인이 되는 물질들이 있습니다.
클린룸
기계 등에서 발생하는 먼지가 확산되면 청정 공간을 유지할 수 없습니다. 따라서 기류를 이용하여 발생한 먼지를 빠르게 외부로 배출해야 합니다.
풍속 제어
클린룸의 기류는 클린룸 성능에 영향을 미치는 중요한 요소입니다. 일반적으로 클린룸의 기류 속도는 0.25~0.5m/s 사이로 선정됩니다. 이 기류 속도는 바람 영역에 속하며, 사람, 기계 등의 간섭을 받기 쉽고 무질서한 경향이 있습니다. 풍속을 높이면 이러한 교란의 영향을 억제하고 청정도를 유지할 수 있지만, 풍속 증가는 운영 비용 증가에 영향을 미칩니다. 따라서 요구되는 청정도 수준에 도달했을 때 가장 적절한 풍속으로 공급할 수 있어야 합니다. 경제적인 결과를 얻으려면 적절한 풍속 공급을 확보해야 합니다.
한편, 클린룸 청정도를 안정적으로 유지하기 위해서는 균일한 기류 유지 또한 중요한 요소입니다. 균일한 기류가 유지되지 못한다면 풍속이 다르다는 것을 의미합니다. 특히 벽면에서는 기류가 벽면을 따라 와류를 발생시킵니다. 따라서 높은 청정도를 달성하는 것은 사실상 매우 어렵습니다.
수직 층류 방향으로 균일한 공기 흐름을 유지하려면 다음이 필요합니다.
(A) 송풍면의 풍속은 속도차이가 없어야 한다.
(B) 바닥환기판 흡입면의 풍속에는 차이가 없어야 합니다. 풍속이 너무 낮거나 높으면(0.2m/s, 0.7m/s) 와전류가 발생합니다. 풍속이 0.5m/s일 때 공기 흐름이 더 균일해집니다. 일반적으로 클린룸의 풍속은 0.25~0.5m/s입니다.
영향 요인
클린룸에 영향을 미치는 공기 흐름 요소는 공정 장비, 인력 등 다양합니다.
클린룸 조립 재료
, 조명기구 등. 동시에 생산장비 위쪽의 공기흐름의 분산점도 고려해야 합니다.
일반적으로 수술대 또는 생산 장비 표면의 공기 흐름 분산 지점은 청정실 공간과 작업대 사이의 거리에 위치해야 합니다.
클린룸 칸막이 벽
2/3은 작업자가 작업할 때 공정 영역 내부에서 작업 영역으로 공기 흐름이 흐르도록 합니다. 먼지는 제거됩니다. 만약 배출 지점을 공정 영역 앞에 두면 부적절한 공기 흐름 배출이 발생합니다. 이때 대부분의 공기 흐름은 공정 영역으로 흐르고, 작업자 작업으로 인해 발생하는 먼지는 장비 후면으로 배출됩니다. 결과적으로 대만이 오염되고 수율이 저하될 수밖에 없습니다.
클린룸 내 작업대와 같은 장애물은 접합부에서 와전류가 발생하며, 주변 청정도는 상대적으로 낮습니다. 작업대에 환풍구를 뚫으면 와전류를 최소화할 수 있습니다. 조립 시 재료 선택의 적절성 및 장비 배치의 완벽성 또한 기류가 와류 현상으로 발생하는지 여부를 결정하는 중요한 요소입니다.
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