클린룸이란 특정 공간 내의 공기 중의 입자, 유해 공기, 박테리아 및 기타 오염 물질을 제거하고 실내 온도, 청정도, 실내 압력, 공기 속도 및 공기 분포, 소음, 진동, 조명 및 정전기를 일정 범위 내에서 제어하고 특별히 설계된 실내를 제공하는 것을 말합니다.즉, 외부 공기 조건이 어떻게 변하든 실내는 청정도, 온도, 습도 및 압력의 원래 설정 요구 사항을 유지할 수 있습니다.클린룸의 주요 기능은 제품(예: 실리콘 칩 등)이 접촉하는 분위기의 청정도, 온도 및 습도를 제어하여 제품이 양호한 환경 공간에서 생산 및 제조될 수 있도록 하는 것입니다.이 공간을 클린룸이라고 합니다.

1. 클린룸의 지표.

1. 청정실의 공기 공급은 실내에서 발생하는 오염물질을 희석하거나 제거하기에 충분합니다.

2. 클린룸의 공기는 청정 구역에서 청정도가 낮은 구역으로 흐릅니다. 오염된 공기는 가장 낮은 지점까지 흐르고, 출입문과 실내에서는 올바른 방향으로 흐릅니다.

3. 청정실 내 공기 공급은 실내 오염을 크게 증가시키지 않습니다.

4. 실내 공기의 이동 상태를 통해 비밀실에 고농도의 공기가 모이는 곳이 없도록 보장할 수 있습니다.

두 번째. 청정실 테스트.

1. 급기 및 배기량: 난류 클린룸인 경우 급기 및 배기량을 측정해야 합니다. 일방향 흐름 클린룸인 경우 풍속을 측정해야 합니다.

2. 각 구역 간 공기 흐름 제어: 각 구역 간 공기 흐름의 이동 방향이 올바른지, 즉 청결한 구역에서 청결이 좋지 않은 구역으로 흐르는지 확인하기 위해 다음 사항을 확인해야 합니다.

(1) 각 구간의 압력차이는 정확하다.

( 2) 출입구나 벽, 바닥 등의 개구부에서 공기가 움직이는 방향이 정확해야 합니다. 즉, 깨끗한 곳에서 깨끗하지 못한 곳으로 공기가 흐릅니다.

3. 필터 누출 탐지: 고효율 필터와 그 프레임을 검사하여 부유 오염 물질이 다음을 통과하지 못하는지 확인해야 합니다. (1) 손상된 필터; (2) 필터와 외부 프레임 사이의 틈새;

(3) 필터장치의 다른 부분이 실내로 침입하는 경우

4. 격리 누출 감지: 이 테스트는 부유 오염 물질이 건축 자재를 통해 청정실로 침투하지 않는다는 것을 증명하기 위한 것입니다.

5. 실내 기류 제어: 기류 제어 시험 유형은 클린룸의 기류 모드(난류 또는 단방향 기류)에 따라 달라집니다. 클린룸의 기류가 난류인 경우, 실내에 기류가 부족한 구역이 없는지 확인해야 합니다. 단방향 기류인 경우, 실내 전체의 풍속과 풍향이 설계 요건을 충족하는지 확인해야 합니다.

6. 부유입자 농도 및 미생물 농도: 상기 시험이 요구사항을 충족하는 경우, 최종적으로 입자 농도 및 미생물 농도(필요시)를 측정하여 클린룸 설계의 기술 조건을 충족하는지 검증합니다.

7. 기타 테스트: 위에 언급된 오염 제어 테스트 외에도 때때로 다음 테스트 중 하나 이상을 수행해야 합니다: 온도, 상대 습도, 실내 난방 및 냉방 용량, 소음 값, 광도, 진동 값

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