클린 룸의 클린 룸에 대한 전자 산업의 요구 사항은 에어 샤워 청소 창고, ffu 정화 장치, 고효율 필터, 고효율 공기 배출구 및 전송 창. 이러한 장비가 장착되지 않은 경우 요구 사항이 표준에 부합합니다.
클린 룸에 대한 전자 산업의 요구 사항 깨끗한 방 : 클린 룸은 클린 워크샵, 클린 룸, 클린 룸이라고도합니다. 전자 공장에는 많은 유형의 생산 공정이 있으며 집적 회로 생산 (포토 마스크, 전면 공정 및 후면 공정으로 나누어 짐) 공정, 핑난 디스플레이 생산 (LCD, pdp, tft, vfd, 픽처 튜브로 구분), 실리콘 재료 생산 (단결정 실리콘, 폴리 실리콘), 광섬유 생산, 카드 제조, 표면 실장 (smt), 분리 장치 생산 (전원 1 차, 2 차 및 3 차 레벨 튜브, 커패시터, 저항기), 완전한 기계 조립 생산 (셋톱 박스, 디지털 프로젝터, 전자 디지털 카메라), 자동 제어 부품 생산 (센서, 액추에이터) 등
다양한 생산 공정으로 인해 청결 수준에 대한 요구 사항이 다르고 높음이 높으며 낮음이 낮습니다. 입자 크기 조절에 대한 요구 또한 약 0.1 내지 5um 범위에서 상이하고; 예를 들어 온도 및 습도 제어에 대한 요구 사항은 비교적 높습니다. 예를 들어, 이전 단계의 집적 회로는 일반적으로 22 ° c의 기본 온도 (정확도 ± 0.1 ~ ± 1 ° c)와 40 %의 상대 습도 기준 (정확도 ± 2)이 필요합니다 ± 5 ° c; 양압 값에 필요한 기울기 수준은 높음에서 낮음으로의 청결도 변화이며, 차이는 5 ~ 10pa입니다.
먼지가없는 작업장의 냉각 부하 전자 산업 다른 산업보다 훨씬 크고 단위 냉각 부하는 400 ~ 500w / ㎡입니다. 큰 냉각 부하로 인해 일반적으로 겨울에도 냉각이 필요하며 이는 전자 산업의 특징입니다.
전자 산업의 생산 공정에서 발생하는 많은 종류의 유해 가스가 있으며, 수량도 많으므로 필요한 배기 공기량과 신선한 공기도 많습니다. 새로운 배기의 에너지 절약 조치도 업계의 특성 중 하나입니다. 배출하기 전에 배기 공기를 환경 친화적으로 처리하도록 처리해야합니다.
전자 산업의 생산 공정에는 정전기 방지 및 진동 방지 요구 사항이 필요하며, 많은 유형의 벌크 가스와 특수 가스가 있으며 높은 순도와 청결도가 필요합니다.
1. 전자 공장의 10,000 수준 청정실 소음 수준 (빈 상태) : 65db (a)보다 크지 않아야합니다.
2. 전자 제품 공장의 클린 룸에있는 클린 룸은 60 % 이상 채워서는 안되며, 수평 단방향 플로우 클린 룸은 40 %보다 작아서는 안됩니다. 그렇지 않으면 부분적인 단방향 흐름이됩니다.
3. 클린 룸과 전자 제품 제조업체의 실외 사이의 정압 차이는 10pa 이상이어야하며, 클린 에어리어가 다른 클린 영역과 비 청정 영역 사이의 정압 차이는 5pa 이상이어야합니다.
4. 전자 제품 제조 산업의 10,000 수준 청정실에서 신선한 공기의 양은 다음 두 항목 중 최대 값을 가져야합니다.
5. 실내 공기량과 양의 실내 압력을 유지하는 데 필요한 신선한 공기의 양의 합.
6. 클린 룸에서 시간당 1 인당 신선한 공기의 양이 40m3 이상인지 확인하십시오.